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사진
구분
내용
한글장비명
플라즈마 에칭 시스템
영문장비명
Low Pressure Plasma System Etching of surface
모델명



제작사
(주)미래에스아이
이용신청 및 문의처
기관명: (주)미래에스아이
운영자: 관리자
소재지: 500-470 광주광역시 북구 첨단벤처로 16번길 10
연락처: 062-972-7422     Fax: 062-972-7423
E-mail : miraesi5@miraesi.com
원리 및 특징
 
주요구성 및 성능

1. Plasma chamber - Φ 110 mm, L 300 mm (glass type)
2. Gas connection - 1 pcs, gas channel controlled with needle valve or MFC
3. Plasma power - 13.56 MHz, 350 W
4. Electric control - manual, semi automatic, full automatic (PC or Touch screen control)
5. Connections - Gas: 1/8”tube fittings - Power: AC 220 V/ 60 Hz
6. Vacuum pump - Rotary type: 20~30 L/min

활용지원분야
 
 
 
 
(주)미래에스아이  
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61009 광주광역시 북구 첨단벤처로16번길 10    TEL : 062-972-7422    FAX : 062-972-7423
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